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热场发射扫描电子显微镜

JSM-7100F 在保持小束斑的同时,获得200nA的大束流;可以对几十纳米微区进行观察和分析;可以配备EDS,EBSD,WDS,CL等;采用无漏磁物镜,可以观察磁性样品.

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扫描电子显微镜

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